莫斯科即将诞生！俄罗斯首款350nm光刻机震撼来袭

突破极限！俄罗斯首款350nm光刻机引领科技新纪元

　　 3月25日据俄罗斯卫星通讯社报道，莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁在个人“电报”频道中发布消息称，莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已经成功完成了俄罗斯首台350nm光刻机的研发任务。该设备是制造微芯片的重要工具。

　　 俄乌冲突升级后，美西方国家对俄罗斯采取了更加严格的出口管控政策，其中半导体芯片以及光刻机等关键半导体设备被列为限制出口的重点对象。这一举措促使俄罗斯着手推进自主研发国产光刻机的计划。

　　 2023年，俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里·什帕克近日在接受采访时表示，俄罗斯计划在2024年开始生产350纳米光刻机，并于2026年启动130纳米制程芯片光刻机的生产工作。这些光刻机的制造任务将在莫斯科、泽列诺格勒、圣彼得堡以及新西伯利亚现有的工厂内完成。

　　 2024年5月，俄罗斯塔斯社发布消息，在CIPR2024会议期间，Vasily Shpak透露，俄罗斯首台自主研发的光刻机已成功完成组装，并已在泽列诺格勒展开测试工作。这款设备能够支持350nm制程芯片的生产。不过，当时Vasily Shpak并未提供关于该光刻机的更多具体信息。

　　 近日，莫斯科市长谢尔盖·索比亚宁透露，莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已经成功完成了俄罗斯首台350nm光刻机的研发，并公开了部分相关图片。

　　 “全球能够制造这种微芯片关键生产设备的公司屈指可数，不超过10家，而现在，俄罗斯也成功加入了这个行列。这标志着俄罗斯在实现微电子产品的自主生产和国家技术全面独立方面迈出了至关重要的一步。”索比亚宁强调，俄罗斯研发的这一设备与国外同类产品有显著差异。俄罗斯的新设备首次采用了固体激光器作为光源，而非传统的汞灯。这种固体激光器具有功率更高、能效更优、使用寿命更长以及光谱更窄等优势。

　　 众所周知，光刻机在半导体制造领域具有举足轻重的地位，目前全球仅有荷兰的ASML、日本的尼康与佳能以及中国的上海微电子四家公司具备光刻机生产能力，然而在高端先进制程光刻机市场中，只有ASML、尼康和佳能能够提供相关产品。尽管350nm制程属于相当成熟的技术，但它仍然能满足部分汽车行业、能源行业以及通信行业对芯片的需求。

　　 近日，莫斯科“泽列诺格勒纳米技术中心”宣布，其研发的俄罗斯首台350nm拓扑结构的投影式光刻机已完成国家合同要求的所有工作，并通过了严格的测试认证。该设备的研发得到了白俄罗斯“Planar”工厂的技术支持，于2024年12月正式通过国家委员会的验收，各项技术指标均符合预期目标。目前，已有客户下单采购，设备正在根据用户的特定生产需求进一步优化工艺流程。 这台国产光刻机的成功研发标志着俄罗斯在高端半导体制造领域迈出了重要一步。尽管全球范围内更先进的光刻技术已经向更小节点迈进，但350nm制程依然具有广泛的市场应用价值，特别是在一些特定工业领域和新兴经济体中仍有较大需求。此次突破不仅填补了俄罗斯在高端光刻设备上的空白，也为未来更高精度设备的研发积累了宝贵经验。 不过，值得注意的是，当前国际半导体产业链高度依赖于少数发达国家，尤其是在极紫外（EUV）光刻等尖端技术方面。俄罗斯此次推出的350nm光刻机虽然意义重大，但在短期内仍难以完全摆脱对进口技术和设备的依赖。因此，如何进一步提升自主创新能力，逐步完善上下游产业链布局，将是未来需要持续努力的方向。

　　 报道称，这款350nm光刻机的工作区域面积大幅提升，达到了22mm×22mm，能够满足最大直径为200mm的晶圆加工需求。

　　 据莫斯科市投资和工业政策局指出，“泽列诺格勒纳米技术中心”公司已做好了批量生产这款350nm光刻机的准备。此外，“泽列诺格勒纳米技术中心”目前还正在按第二份国家合同继续开展 130 纳米光刻机的研发工作，预计于 2026 年完成。

　　 根据此前曝光的计划，2024年俄罗斯将拨款2,114亿卢布（约合人民币166.16亿元）用于国内电子产品的开发，其将包括可以生产350nm制程芯片的光刻机，2026年将完成用于生产130nm制程芯片的光刻机。

　　 俄罗斯计划研发350纳米到65纳米制程的光刻机，主要原因是这一技术节点的芯片广泛应用于微控制器、电力电子、通信电路以及汽车电子等领域，这些领域约占全球芯片市场需求的六成。因此，这种光刻机在全球市场上有着巨大的需求量，并且预计在未来至少十年内仍将保持稳定的市场需求。

　　 此前，瓦西里·什帕克也曾强调，一个基本的道理是，如果没有半导体领域的自主权，那么就无法实现真正的技术自主权。这将在国防安全和政治主权方面带来极大的脆弱性。

　　 目前，俄罗斯已成功掌握利用国外旧款光刻机制造65nm芯片的技术。然而，由于国外公司被限制向俄罗斯出口高端光刻设备，俄罗斯必须加紧研发自主光刻机。

　　 莫斯科政府部长兼投资和工业政策局局长阿纳托利·加尔布佐夫指出：“莫斯科作为俄罗斯微电子产业的核心，目前占据了全国微电子企业总收入的大约40%。微电子学与光子学在多个领域展现出巨大的发展潜力，包括光通信、传感技术以及无线电光子学等众多方向。位于‘莫斯科科技城’经济特区的企业正在推进一系列重要项目，这些项目均致力于开发具有战略价值的产品。”