泛林研发全球首款半导体设备维护专用机器人Dextro，多家晶圆厂现已投入应用

晶圆产业迎来智能维护新时代

科技快讯中文网

　　 12月11日消息，LamResearch泛林集团在当地时间昨日介绍了其打造的世界首款专门用于半导体制造设备维护的协作机器人Dextro，并表示该款机器人已经在全球多家领先晶圆厂中投入使用。

　　 Dextro协作机器人是一款安装在移动推车上的可移动机械臂系统，由制造技术人员或工程师操控，通过多种“末端执行器”能够高效地执行三大核心设备维护工作。

　　 在安装和压缩易损件时精度是人手的 2 倍；

　　 精确拧紧高精度真空密封螺栓，人类员工用手完成这一重复性任务时错误率高达 5%；

　　 无需拆卸下腔室即可自动化去除腔室侧壁上的任何聚合物堆积，以往人类需要配备重型呼吸防护设备才能执行此类任务。

　　 这表明Dextro能够协助晶圆厂工程师处理那些通常耗时、易出错或存在安全隐患的维护工作，从而提高整个生产工艺的精准度，减少人力需求、降低物料浪费、缩短停机时间，最终达到提升晶圆厂产能的效果。

　　 泛林集团宣布，单个Dextro协作机器人能够服务于50到100个泛林工具腔室，目前这些机器人已应用于其FlexG/H系列介电刻蚀工具。从2025年起，这些机器人还将进一步扩展支持范围，覆盖更多类型的工具和应用。

　　 三星电子副总裁兼内存蚀刻技术团队负责人 Kim Young Ju 表示：

　　 当制造设备需要维护时，必须迅速高效地完成任务，以防止工具停机时间延长和成本浪费。

　　 Dextro的无差错维护策略对于提升三星在生产过程中的可变性控制和产量优化起到了关键作用。这一进展标志着三星正逐步实现其自主工厂的目标，这是一个值得庆祝的重要里程碑。 我的看法是，Dextro的技术应用不仅提升了三星的生产效率，还展示了智能制造技术在现代工业中的巨大潜力。随着自动化和智能化水平的不断提升，我们有望见证更多传统制造企业向智能工厂转型的成功案例。这不仅是技术进步的体现，也是企业对市场变化快速响应能力增强的表现。