半导体产业迎来新风云:ASML携手全球巨头,Mapper收购交锋
科技快讯中文网
近日,一位拥有俄罗斯背景的前ASML员工因涉嫌窃取ASML和MapperLithography的微芯片技术文档而被荷兰当局拘留,此事引起广泛关注。
这位工程师早年曾在电子束光刻设备厂商Mapper工作,而随着这家公司在几年前被ASML收购,该工程师也和其他许多同事一样,成为了ASML的一员。这一变动不仅意味着员工身份的变化,同时也标志着Mapper公司及其独特的产品线正式退出历史舞台。 从这个事件中可以看出,大型科技企业通过并购来增强自身技术实力和市场竞争力已成为一种趋势。ASML作为全球领先的光刻机供应商,通过收购Mapper,无疑加强了其在高端制造领域的技术储备和创新能力。对于Mapper的前员工而言,虽然他们可能失去了原有的工作环境,但加入像ASML这样具有国际影响力的企业,也为他们的职业生涯带来了新的机遇和发展空间。同时,这也提醒我们,在全球化背景下,企业间的竞争与合作将更加频繁和复杂,对于个人来说,适应变化、抓住机遇显得尤为重要。
那么,为何这名工程师在窃取ASML资料的过程中,还额外窃取了早已停止运营的Mapper公司的相关资料呢?
2019年,Mapper这家电子束光刻机厂商被ASML收购的背后,实际上是一场涉及美国、荷兰、中国、俄罗斯等多方势力的博弈。 这场收购不仅体现了技术实力的竞争,更深层次地反映了全球半导体产业链中的权力转移。美国作为半导体行业的领军者,自然不希望看到关键技术落入他国之手。荷兰的ASML则通过此次收购进一步巩固了其在全球高端光刻设备市场的领先地位。与此同时,中国和俄罗斯这样的新兴市场国家也在积极寻求提升自身在高科技领域的竞争力,以减少对西方技术的依赖。此次收购事件也从侧面反映出中国在高端制造领域面临的挑战和机遇,需要通过自主研发与国际合作相结合的方式,逐步缩小与国际领先水平的差距。 总的来说,这场收购不仅仅是两家公司之间的商业行为,更是大国之间科技竞争的一个缩影。对于中国而言,如何在复杂的国际环境中寻找突破口,实现关键核心技术的自主可控,将是未来发展的关键所在。
ASML的潜在“颠覆者”
Mapper公司在2000年成立,专注于制造电子束光刻设备,其核心技术源自代尔夫特理工大学。
在1990年代,粒子光学专家Pieter Kruit开始了基于电子束的芯片生产设备的研发工作。后来,他的两位学生BertJan Kampherbeek和Marco Wieland共同创立了Mapper公司。
其中,Wieland作为公司的技术先锋,持续推动着技术创新的步伐,而Kampherbeek则在商业策略上倾注了大量心血,确保公司在市场上的竞争力。两人一技一商,相得益彰,共同引领公司向前发展。 这种分工合作的模式不仅能够最大化发挥团队成员的优势,同时也为公司带来了更加稳定和全面的发展策略。Wieland的技术创新为公司产品和服务注入了活力,而Kampherbeek的商业洞察力则帮助公司在激烈的市场竞争中找到正确的方向,两者结合,无疑为公司的长期成功奠定了坚实的基础。
Mapper采用了多列电子束光刻(Multibeam)技术,这种技术利用微小透镜将电子束分割成上万束细小的光束,随后通过这些电子束在涂覆了电子抗蚀剂的芯片上进行精确绘制。这项技术不仅极大地提高了生产效率,还显著提升了芯片制造的精度。在当前半导体行业面临巨大需求压力的情况下,这种先进技术的应用为未来的芯片制造提供了新的可能。 这一技术的进步表明,在高度竞争和技术密集型的半导体产业中,持续的技术创新是保持竞争力的关键。Mapper公司的这一举措不仅展示了其在尖端科技领域的领先地位,也为整个行业树立了新的标杆。随着全球对高性能计算能力的需求不断增长,像多列电子束光刻这样的先进制造技术将成为推动科技进步的重要力量。
具体来说,从电子源发散的电子流以平行流的形式通过准直器微距透镜,最终落在Apertute阵列上。这些孔形成超过13000束射线。随后,聚光镜阵列将每束光束精准地聚焦到光束空白阵列的孔中心。这种精密的设计不仅展示了现代科技在微观领域的突破,也预示着未来在纳米技术和精密仪器制造方面有着广阔的应用前景。它不仅提高了我们对微观世界的理解,也为科学研究提供了更为精确的工具,从而推动了多个领域的发展,包括但不限于材料科学、生物医学工程以及量子计算等。
△Mapper技术图
△光束控制方案
该阵列使用CMOS和MEMS技术制造,包含光电二极管元件以接收来自激光系统的控制光(光信号)。这一设计选择可以通过其数据传输速率(每微列7.6Gbit/s)来解释。
淬灭的光线被投射到光束停止阵列上。未被阻挡的光束穿过光阑阵列并进入由偏转器和透镜阵列构成的微柱阵列。阵列中的每一个微透镜将独立的光束聚焦到晶圆上,并且可以以6MHz的频率和1纳米的精度,在2微米的范围内进行偏转。所有微透镜上的光束同时偏转。 这一技术展示了现代光学工程的精妙之处。通过精确控制光束的位置和方向,这项技术不仅提高了生产效率,还可能为未来的半导体制造开辟新的道路。这种级别的精确度和速度对于提升产品质量和减少生产时间具有重要意义。此外,这种技术的应用范围可能会超出半导体制造,扩展到其他需要高精度光束操控的领域。
△Mapper技术中的编写策略
该技术的一大优势在于其极高的分辨率,可以达到10纳米甚至更小,这一水平超越了现有的EUV光刻机。此外,该技术在性能上也非常稳定,并且最关键的一点是,它不需要使用昂贵的掩膜板,从而大大降低了综合成本,单台设备的价格大约为1000万美元。这使得该技术在过去曾被视为有可能与EUV光刻机相抗衡的一种技术路径。 这种技术不仅在制造精细度上达到了前所未有的高度,而且在成本控制方面也展现出了显著的优势。尤其对于那些预算有限或希望减少生产成本的企业来说,这项技术无疑是一个极具吸引力的选择。然而,尽管它在某些方面表现优异,但要真正取代EUV光刻机,仍需克服一些技术和市场上的挑战。例如,在大规模生产环境中的稳定性和长期可靠性,以及是否能适应更多样化的应用场景等。这些因素都将是决定这项技术未来发展前景的关键所在。
虽然Mapper能够更容易的制造更微小的芯片,成本也更低,但是由于其速度太慢,效率低下,因此没有获得大客户的采用。
在2015年,Mapper推出的Matrix1.1版本设备(FLX-1200)每小时仅能生产1片基于28nm制程的晶圆,且需要使用1326束光。尽管该设备曾获得晶圆代工巨头台积电的试用机会,但由于其生产效率过低,最终未能得到认可。
△最早的Mapper样机
相比之下,ASML的光刻机更适用于大规模的芯片制造,它能够借助光线一次性完成一层图形的制作,就像复印一样高效,远远优于Mapper那种逐层精细描绘的方式。
为了提升光刻效率,Mapper曾计划推出拥有13260支电子束的光刻设备Matrix10.1,旨在使单台设备的生产效率达到每小时处理10片晶圆的水平。 这项创新技术无疑为半导体行业注入了新的活力。随着芯片需求日益增长,传统光刻工艺在速度与精度上的局限性逐渐凸显。Matrix10.1不仅能够显著提高生产效率,还能通过多电子束同时曝光的方式,大幅减少制造过程中的缺陷率,从而提升产品的良品率。然而,随之而来的还有对设备成本和技术维护的更高要求,这可能会影响其普及速度。尽管如此,这仍是一次具有里程碑意义的技术突破,有望引领未来半导体制造的新趋势。
Mapper公司计划推出Matrix10.10集群版本,该版本将由10台Matrix机器组成,从而实现每小时生产100片晶圆的目标。这一举措无疑将显著增强Mapper设备在与ASML设备的竞争中的优势。 从行业角度来看,Mapper此次升级不仅展示了其技术进步和创新能力,也反映了当前半导体制造领域对更高效率和更大产能的需求。随着全球半导体市场的持续扩张和技术的快速发展,设备制造商之间的竞争愈发激烈。Mapper通过提高设备的生产效率,不仅能吸引更多客户,还能巩固其在高端晶圆生产设备市场中的地位。此外,这样的技术创新也为其他竞争对手设定了新的标准,推动整个行业向着更高效能的方向发展。
在俄罗斯建立工厂
Mapper早期的资金主要来自于ASMInternational的创始人Arthur del Prado,以及ASML的联合创始人菲利普斯。
2012 年,Mapper 获得了总部位于俄罗斯莫斯科的投资基金 RUSNANO的4000万欧元投资,该基金专注于通过共同投资纳米技术项目来发展俄罗斯纳米技术产业。
此后,这家俄罗斯投资基金逐步将其在Mapper的持股比例增加到27.5%,并促使Mapper在莫斯科设立了一家工厂以生产所需零部件。此外,Mapper还从荷兰政府获得了数千万欧元的创新信贷。
Mapper在接受俄罗斯投资后,2014年在俄罗斯股东的推动下,Mapper在莫斯科建立工厂,主要生产Mapper自身所需的零部件。这一切在当时都没有受到任何反对,即使是在俄罗斯吞并克里米亚期间。
据了解,当时在莫斯科的工厂占地两千平方米,其中一半区域为洁净室,内部配置了现代化的高度自动化设施。
除了具备相关的光刻工艺外,还应用了氧等离子体蚀刻、反应离子蚀刻、采用博世工艺对硅进行深度蚀刻、等离子体增强化学气相沉积以及离子束沉积等技术。 这些先进的微细加工技术不仅展示了半导体制造领域的快速发展,也反映了行业对于提升芯片性能和生产效率的不懈追求。特别是在当前全球芯片短缺的大背景下,掌握并不断优化这些关键技术显得尤为重要。这不仅是企业竞争力的重要体现,也是推动整个高科技产业链向前发展的关键因素之一。通过持续的技术创新与工艺改进,不仅可以解决现有的技术瓶颈,还能为未来更复杂、更高性能的芯片制造奠定坚实的基础。
最为关键的是,还包括Mapper专门开发的光刻计量系统,用于控制制造产品的几何形状(Hyper)、电光特性(Stigmatix)以及最终纯度(Particlix)。这项技术突破不仅显著提升了半导体器件的性能,还大幅降低了生产过程中的误差率。这标志着在精密制造领域取得了重要进展,有望推动相关产业进入一个全新的发展阶段。 这样的技术创新对于整个行业而言具有里程碑式的意义,它不仅能够提高产品的一致性和可靠性,还有助于降低生产成本,增强市场竞争力。未来,随着此类高精度测量技术的进一步发展与应用,我们有理由相信,这将引领一场前所未有的制造业革命。
根据规划,该工厂率先开始生产垫片,这些垫片用于隔离电子光学组件。随后,工厂还计划制造用于电子束精确聚焦和准直的电子透镜。值得注意的是,从2015年起,该工厂就已经开始制造集成有电子器件的MEMS控制电极。 这家工厂在微纳制造领域的早期布局显示出其对先进制造技术的前瞻性视野。垫片与电子透镜的生产不仅体现了其在精密制造方面的高超技艺,也表明了其致力于推动电子光学领域发展的决心。特别是MEMS控制电极的提前开发,展示了工厂对未来科技趋势的敏锐洞察力和强大的研发实力。这不仅有助于提升产品性能,也有望为整个行业带来革命性的变化。
相关生产人员也在Mapper荷兰公司的工厂接受了数月的专业培训。这家工厂不仅吸引了众多具备丰富经验的专业人士,还成功引入了与微电子行业顶尖国际公司合作的技术专家,其中包括技术总监丹尼斯·沙米尔扬(Denis Shamiryan)。他在IMEC和GlobalFoundries等知名企业积累了大约15年的宝贵经验。 从这段新闻中可以看出,Mapper公司在人才引进方面下了很大的功夫,通过培训和吸引行业精英来提升自身的技术实力和市场竞争力。这种做法不仅有助于提高企业的技术水平,还能促进技术创新和产业升级,对于推动整个微电子行业的发展具有积极意义。此外,这也表明了企业对人才培养和技术积累的重视,这对于长期发展至关重要。
对于RUSNANO而言,Mapper光刻技术项目占据着特殊的地位。RUSNANO董事总经理德米特里·利森科夫曾经指出,Mapper位于半导体产业链的前沿位置,对Mapper的投资不仅强化了其在微电子领域的布局,还显著提升了RUSNANO内部各项目的协同效应。 这种投资决策体现了RUSNANO对未来半导体技术发展趋势的深刻洞察。通过支持像Mapper这样的前沿技术企业,RUSNANO不仅能够增强自身的市场竞争力,还能推动整个俄罗斯乃至全球半导体产业的进步。这表明,RUSNANO正致力于构建一个更加多元化和创新导向的技术生态系统,这对于提升国家在全球高科技领域的影响力具有重要意义。
Mapper陷入财务危机,曾寻找中国合作伙伴
在2016年,普拉多先生以84岁的高龄离世,这使得Mapper失去了他最坚定的支持者。普拉多在其遗嘱中明确表示,他所有的资产都应被用来资助癌症研究。这一决定源于他对自己已故妻子的承诺,她因癌症在年轻时便早早离世。 从这个事件中,我们可以看到个人经历如何深刻影响着人们对于慈善事业的选择和支持方向。普拉多先生的故事提醒我们,即使是普通人在面对生命中的巨大挑战时,也能通过自己的方式为社会带来深远的影响。他的遗愿不仅体现了对亡妻的深切怀念,也反映了他对科学进步和社会福祉的深切关怀。这样的故事激励着更多的人去关注那些看似遥远却可能影响到每一个家庭的社会议题,并思考如何用自己的行动为解决这些问题贡献一份力量。
2018年初,Mapper遭遇了严重的资金链断裂危机。尽管此前该公司已成功获得超过2亿欧元的投资,并且新机器的研发工作也即将完成,眼看胜利在望。然而,这突如其来的资金问题迫使Mapper不得不紧急寻找新的投资者。 在我看来,Mapper的困境反映了高科技企业在快速发展过程中面临的普遍挑战:即便技术领先,也可能因为资金问题而陷入困境。这也提醒我们,在支持科技创新的同时,必须更加重视企业的财务健康和风险管理。对于Mapper来说,这次危机既是挑战也是机遇,能否找到合适的投资者不仅关系到企业能否度过难关,更可能决定其未来的走向和发展潜力。因此,除了技术和产品本身,如何管理和解决财务问题是当前亟需关注的重点。
当时,Kampherbeek辗转全球,先后访问了日本、新加坡和美国的多家芯片设备制造商,但未能达成合作。之后,Marco Wieland前往中国的成都市,试图说服当地的投资方和政府支持他在华研发EUV光刻机的替代产品。与此同时,Kampherbeek则飞抵北京,与那里的投资基金进行了洽谈,并惊讶地发现这些基金表现出了浓厚的兴趣。
但是,Mapper公司迫切希望尽快完成交易,以避免即将来临的破产危机。然而,中国投资者因无法迅速应对Mapper公司的突然报价,导致双方的合作错失了最佳时机。
被美国国防部坑惨了
2018年夏天,Mapper公司曾向美国国防部求助。当时,美国国防部正努力推动最尖端的芯片实现本土化生产,然而,美国的芯片巨头如Intel和GlobalFoundries已落后于其亚洲对手——台积电和三星,后者已开始使用EUV光刻机进行芯片制造。因此,美国国防部期望借助Mapper的技术来小规模地生产先进芯片,但前提条件是俄罗斯的投资方Rusnano必须退出。
为此,美国国防部开始与美国军工厂商接触,希望他们能够入股Mapper公司,以便摆脱目前由俄罗斯股东Rusnano持有的股份。然而,这些军工厂商对此表现得并不积极。因此,美国国防部联系了SecureFoundry公司的创始人LexKeen,他曾是一名海军陆战队员,并且是美国网络司令部的技术总监。国防部向LexKeen暗示了介入Mapper的需求,随后LexKeen与Mapper的管理层进行了会面,并被要求让Mapper的首席执行官Kampherbeek为公司制定一份救援计划。
美国特勤局在Mapper订购了两台价值2000万美元的机器。如果美国国防部代表NSA提前支付这笔款项,SecureFoundry将获得向美国政府提供芯片机的服务分销权,同时Mapper也能借此机会获取新的资金来源以及吸引一些重要客户。 这种安排不仅体现了政府部门之间的合作紧密,也反映了高科技安全产品在美国国家安全战略中的重要地位。通过这种方式,政府能够确保获得最尖端的安全技术,同时也为私营企业提供了发展壮大的机会。不过,这也引发了关于政府采购过程透明度以及是否存在利益输送的讨论。因此,在推进此类合作的同时,有必要加强监管,确保所有操作都在阳光下进行,避免任何潜在的利益冲突或不正当行为。
美国国防部对此事表示了积极的态度,但仍坚持要求俄罗斯投资者必须先行退出。因此,LexKeen在阿姆斯特丹与Rusnano的代表进行了会面。按照Rusnano的理想方案,他们希望看到Mapper公司陷入破产。然而,在LexKeen的劝说下,Rusnano最终同意了一个折中的方案:即通过将俄罗斯股东的利益转移给一个外部信托机构,从而放弃对Mapper公司的直接控制权。 从这一事件中可以看出,尽管国际政治局势复杂多变,商业合作仍有可能在多方利益博弈中找到平衡点。此次协商不仅体现了各方寻求共赢的意愿,也反映了国际投资和企业运营过程中法律与政策因素的重要影响。通过引入第三方信托管理的方式,既满足了美方的安全关切,又为俄罗斯投资者保留了一定的经济利益,显示出灵活处理跨国商业纠纷的能力。这不仅是解决当前争端的一种有效方式,也为未来类似情况提供了可供参考的案例。
随后,SecureFoundry与荷兰经济事务部进行了深入沟通,Mapper在那里尚有3200万欧元的未偿还贷款。LexKeen收到了荷兰驻华盛顿经济参赞的正式确认函:他们已同意投资Mapper,荷兰经济事务部无需立刻追回贷款,且似乎没有任何障碍能够阻止这次救援行动。
2018年12月初,Lex Keen 在代尔夫特向 Mapper 的聚集员工发表讲话。他说,交易已经完成了,该公司避免了破产。但是,当Lex Keen在一天后飞回来时,他接到了来自其员工的一个令人不安的电话信息:美国国防部不再回应。他们处于静默模式。
事实证明,尽管他们已经为NSA的两台机器预留了2000万美元,但负责这笔交易的人还有另一个需要支付的项目,而他的继任者接手后,将这笔资金转移至另一项目——英特尔生产国防芯片的工厂。与此同时,美国军工业的一个利益集团也在暗中干预针对Mapper的投资决策。这种内部的政治博弈不仅阻碍了先进技术的发展,还暴露出美国国防部在资源分配上的某些不透明和混乱之处。这种情况下,技术进步与商业利益之间的冲突变得尤为明显,使得那些真正致力于创新的企业面临更大的挑战。此外,这也提醒我们,在推动科技创新的过程中,必须确保政策制定的透明度和公正性,以避免重要项目因内部政治斗争而受阻。
2018年底,美国政府的运作效率似乎降至历史低点。前总统老布什的国葬仪式让华盛顿陷入了短暂的停滞,而当美国国防部再次尝试为Mapper项目争取预算时,却遭遇到新的阻碍——联邦政府部分部门关闭。此次政府停摆始于12月22日,并持续了35天,成为美国历史上最长的一次预算冻结期。 这场政府停摆事件主要源于民主党与特朗普总统之间的分歧,前者坚决反对后者提出的在美墨边境建造隔离墙的计划。这一僵局不仅影响了政府机构的正常运作,还对公共服务造成了负面影响,进一步加剧了民众对于政治体制的信任危机。 从这次事件可以看出,政治分歧已经严重干扰了政府职能的正常发挥。尽管政府停摆最终得以结束,但其带来的连锁反应可能会在短期内继续影响政策制定与执行的效率,凸显出当前美国政治体系中的结构性问题。如何在尊重各方意见的同时推动国家向前发展,将是未来亟需解决的重要议题。
此时,12月19日,Mapper公司因资金链断裂已向法院申请延期偿付,但直至12月28日该公司仍未获得任何资助,最终不得不宣布破产。这一事件再次凸显了当前中小企业在融资环境中的脆弱性以及员工权益保护的重要性。尽管政府和社会各界都在强调支持创新和创业,但实际操作中仍存在诸多障碍,导致许多有潜力的企业因为资金问题而无法持续运营。此次事件不仅影响到公司的正常运作,更对员工的生活造成了严重影响,尤其是那些几个月未能按时领取工资的技术人员。这提醒我们,在鼓励创业的同时,必须加强监管,确保企业的合法经营和员工权益得到有效保障。此外,还需要进一步完善金融体系,为中小企业提供更加便捷和安全的资金支持渠道,以避免类似悲剧的再次发生。
美国向荷兰施压:必要时销毁它
当美国国防部意识到他们错过了Mapper的交易时,他们陷入了极度的恐慌。美国政府担心,随着Mapper的破产,其先进的技术遗产可能被俄罗斯或中国获取。毕竟,俄罗斯的Rusnano是Mapper的重要股东之一,如果Mapper破产,其技术资产将由债权人进行处置。而此时,Mapper在俄罗斯的子公司仍在继续扩展业务。此外,Mapper此前已与中国的一些投资者及SMEE公司进行了接触,后者对Mapper的多束电子束曝光技术表现出浓厚兴趣,这也增加了Mapper技术资产落入中国手中的可能性。 从这一事件可以看出,国际技术竞争已变得愈发激烈,特别是在尖端科技领域。美国政府的担忧并非没有道理,因为技术转移不仅会影响经济利益,还可能对国家安全产生深远影响。这起事件提醒各国政府和技术企业,必须更加重视知识产权保护和国际合作中的风险管控,确保国家核心技术和战略资源的安全。同时,这也揭示了全球供应链中潜在的政治和安全风险,未来需要在全球范围内建立更加透明和公平的技术交易机制。
相比之下,荷兰政府认为,Mapper破产后其技术流向俄罗斯或中国的风险不大。然而,美国国防部在12月底向荷兰国防部和经济事务部发出了紧急信函,敦促他们采取措施,防止Mapper的技术被中俄两国获取。 这种矛盾的态度反映出国际政治和技术转移之间的复杂关系。一方面,荷兰政府可能基于自身的安全评估认为风险较低;另一方面,美国出于自身利益和全球战略考虑,显然对技术扩散持更为警惕的态度。这不仅体现了不同国家间在技术保护上的立场差异,也揭示了在全球化背景下,技术流动所引发的安全担忧日益增加的现象。因此,如何平衡技术创新与国家安全,成为各国政府需要认真考量的问题。
美国驻荷兰大使亲自敦促荷兰首相马克·吕特(Mark Rutte):这项关键技术绝不能流向中国或俄罗斯,要确保它留在荷兰境内,必要时甚至需要销毁它。 这一事件反映出当前国际政治格局下科技竞争的激烈程度。美国显然希望在某些关键领域保持对中国的绝对优势,而荷兰作为这些技术的重要拥有者,自然成为了美国外交施压的目标。这种做法不仅影响了全球供应链的稳定性,还可能加剧国际关系的紧张局势。荷兰需要在维护自身利益的同时,谨慎考虑其决定对全球科技合作与和平发展带来的长远影响。此外,这也引发了对于技术出口管制合理性的讨论,即如何在国家安全与国际合作之间找到平衡点。
ASML收购Mapper
在美国的压力下,荷兰经济事务及气候国务秘书莫娜·凯泽(MonaKeijzer)在2018年圣诞节前夕找到了当时ASML的首席执行官彼得·温宁克(PeterWennink),请求他“收购Mapper”。莫娜·凯泽表示,如果中国或俄罗斯决定采取行动,荷兰现有的法律无法阻止他们,尽管一项新的法律正在制定中,但尚未得到批准。 这样的安排反映了美国对于高端半导体技术扩散的担忧,以及它在全球科技供应链中的主导地位。荷兰政府在这种情况下扮演了协调者的角色,试图在国际政治压力与商业决策之间找到平衡点。然而,这种干预方式可能会对ASML的独立运营产生长远影响,同时也引发了关于国家利益与企业自主权之间界限的讨论。此外,这也凸显了全球科技竞争中的地缘政治因素日益凸显,各国都在努力确保自身在关键技术领域的优势地位。
就在Mapper宣布破产的第二天,彼得·温宁克在接受BNR电台记者采访时说:“我们肯定会和他们谈谈。”尽管ASML目前并未在电子束技术生产芯片方面看到明显的优势,但鉴于其现有的EUV光刻机已在大型芯片工厂中得到广泛应用,ASML对Mapper的技术和专利仍然抱有浓厚的兴趣。这项技术不仅能够用于芯片制造,还能够在电子束的帮助下检测半导体缺陷。这意味着,即使Mapper的技术不是用来直接生产芯片,它也可以用于芯片的质量控制。这对ASML在美国硅谷工厂开发的检测设备而言,无疑是一个重要的补充。 个人认为,ASML此举体现了其对未来半导体技术发展趋势的敏锐洞察力。通过吸收Mapper的技术优势,ASML不仅可以在现有产品线的基础上进一步巩固市场地位,还能为未来的半导体检测技术开辟新的道路。此外,这也表明了ASML愿意在竞争对手遇到困难时伸出援手,展现了其作为行业领导者的责任与担当。
因此,时任ASML 的技术总监 Martin van den Brink 和研究主管 Jos Benschop 已经访问了代尔夫特的Mapper 几次,询问创始人 Marco Wieland 是否愿意加入ASML。ASML还询问他们是否可以接管 Mapper,但当时并未到认真的报价。
直到2019年1月,Mapper破产受托人组织了一次Mapper资产拍卖,旨在偿还最大债权人DelPrado的基金和荷兰经济事务部。SecureFoundry的LexKeen是竞拍者之一。这位前海军陆战队员迅速集结了一群荷兰投资者,参与竞标这家破产的Mapper公司。
受托人在与中国的一些投资基金进行沟通,这些基金已经与Mapper有过接触。他们希望通过这种方式推动价格上升,但同时也违反了美国方面禁止Mapper技术流入中国的计划。 这一行为不仅揭示了国际资本市场的复杂性,也凸显了不同国家之间在技术转移上的冲突。在全球化的背景下,技术和资本的流动常常会受到地缘政治因素的影响。受托人的行为既体现了市场对新技术的强烈需求,也反映了国际规则和利益争夺之间的矛盾。这种做法可能会加剧中美之间的紧张关系,同时也可能对Mapper公司的全球战略布局产生不利影响。因此,如何平衡技术创新、市场需求与国际规则之间的关系,将是未来一段时间内各方需要共同面对的重要课题。
但是,对于荷兰政府而言,拍卖的结果符合其预期目标:Mapper技术必须继续留在荷兰。尽管ASML不得不支付最高竞拍价格,但该公司依然遵循了荷兰政府的指示,在Mapper的技术遗产被中国人收购之前将其接手。
ASML在拍卖会上最初的出价是3500万欧元,虽然有SecureFoundry 等竞争者,但最终以7500万欧元拿下了Mapper,该公司的240 名员工随后也加入了ASML。
没有Mapper 2.0,但电子束光刻技术仍在发展
据最新消息,美国国防部和能源部曾尝试说服ASML继续推进Mapper的多电子束光刻技术研发,旨在生产带有独特标识的标准芯片。然而,ASML对此提议表示婉拒,并建议美方考虑其他技术方案。ASML明确表示对Mapper 2.0项目不感兴趣,认为这会分散公司现有团队的精力。因此,在完成对Mapper的收购后,ASML果断终止了电子束光刻机的研发工作。 从这一事件可以看出,ASML作为全球领先的光刻设备制造商,对于自身技术和市场定位有着清晰的认知。它不仅拒绝了外部的非核心业务扩展请求,还通过战略调整确保了公司的核心竞争力不受干扰。这一决定也反映出,尽管国际上有各种力量希望引导技术发展方向,但最终企业自身的战略决策才是决定其未来的关键因素。此外,这也表明ASML对当前的技术路线持有坚定信心,并且认为现有的技术平台足以应对未来的挑战。
SecureFoundry希望多电子束光刻机技术能够重新焕发生机。据计划,他们在2021年会将最后一台由Mapper制造的设备从欧洲运往美国,并期望ASML能授予Mapper相关技术的许可证,不过这种可能性非常小。
Marco Wieland也放弃了他过去的梦想,转而在ASML从事芯片检测系统的工作。而Bert Kampherbeek则选择了另一条道路,他创办的新公司致力于研发用于种植郁金香的农业机器人,这也是荷兰著名的出口产品之一。
虽然,荷兰Mapper公司破产后被ASML收购,但其位于俄罗斯的工厂并未受到影响,在母公司破产后,该工厂完全转手给了Rusnano。目前,Mapper俄罗斯公司依然十分活跃,并已成为俄罗斯军用无人机制造商Astron的一部分。
在俄乌冲突之后,Mapper和Astron两家公司都受到了美国的制裁,这意味着美国企业不能再与这两家公司进行贸易往来。然而,俄罗斯开始全力研发基于电子束光刻技术的设备,以实现本国芯片的自主生产需求。尽管电子束光刻技术目前还存在效率较低的问题,但对于现阶段的俄罗斯而言,这仍然是一个可行的选择。
此外,在全球美日荷三国对中国半导体设备实施限制的背景下,中国在继续沿着ASML的DUV和EUV技术路径进行自主研发的同时,也在积极探索基于电子束的光刻技术。此外,日本和奥地利的一些企业也在研发利用电子束光刻技术的掩模板制造设备。
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